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单晶炉 专利技术大全

【定价:280 元】  2010-9-12 20:56:33       【
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1直拉硅单晶炉热场的气流控制方法及装置
2直拉硅单晶炉热屏方法及热屏蔽器
3浮力提拉单晶炉
4一种用于单晶炉的柔性水冷金属电极
5一种直拉硅单晶炉的熔硅液面位置的控制方法
6单晶炉三维热场分布全自动测试系统及其测试方法
7单晶炉的保温装置
8一种防止单晶炉软轴抖动的方法及阻止抖动的阻尼器
9区熔硅单晶炉电气控制系统
10节能型直拉单晶炉
11一种清除直拉硅单晶炉内SiO的方法及装置
12一种提高直拉硅单晶炉热场部件寿命的方法及单晶炉
13单晶炉中籽晶与熔融硅液面接触的检测方法
14单晶炉导流筒及其生产工艺
15单晶炉
16一种延长直拉单晶炉中主发热体使用寿命、减少其自重的方法
17单晶炉加料器
18一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉
19直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置
20单晶炉副炉室垂直度调节装置
21单晶炉炉盖结构
22单晶炉的结构
23单晶炉炉底板与电极套的装配方法
24CZ直拉法单晶炉
25直拉单晶炉热场用石墨埚帮
26CZ直拉法单晶炉石墨热场结构
27单晶炉扶绳机构
28改进的直拉单晶炉加热器结构
29填装性能良好的原料硅块在单晶炉或多晶炉中的应用
30硅粉在单晶炉或多晶炉中的应用方法
31一种用于单晶炉的原料输送装置
32一种延长单晶炉排气口保温罩寿命的方法和装置
33一种单晶炉用硬质复合石墨毡保温隔热桶制作工艺
34一种延长单晶炉真空泵寿命的方法
35一种延长单晶炉真空泵寿命的装置
36一种单晶炉热场的排气方法和装置
37改进的直拉硅单晶炉
38一种用于直拉硅单晶炉热场系统
39一种增加区熔单晶炉运行时单晶稳定性的方法及装置
40一种增加单晶炉投料量的方法
41直拉硅单晶炉炉盖
42直拉硅单晶炉的硅熔体液面位置及单晶棒直径的测量方法
43用于MCZ单晶炉的勾形磁场的优化设计方法
44一种单晶炉重锤软轴夹具
45开门式单晶炉取棒车
46副炉开门式单晶炉
1单晶炉的多管式结构
2一种双区加热真空感应单晶炉
3一种密封式单晶炉
4单晶炉等径提拉装置
5区熔单晶炉单晶硅棒夹持机构
6下开平动式直拉单晶炉
7一种用于直拉硅单晶炉热场的主发热体
8单晶炉坩埚托
9直拉单晶炉双CCD测量光学系统
10一种应用于单晶炉的加料管
11单晶炉勾形电磁场装置
12一种用于单晶炉上的轴向集线器
13单晶炉的保温装置
14硅单晶炉热系统装置
15带可旋转托盘的单晶炉
16区熔硅单晶炉电气控制装置
17一种带有后氧化装置的直拉硅单晶炉
18太阳能硅单晶炉的冷却水系统
19太阳能硅单晶炉的组合铜排
20一种单晶炉移动热屏装置
21一种具有保护气控制装置的直拉单晶炉
22一种用于单晶炉的柔性水冷金属电极
23用于硅单晶炉的坩埚轴传动部件
24单晶炉导流筒
25一种十二段加热区水平单晶炉加热体
26一种硅单晶炉磁流体密封装置
27带有一次加料器的直拉单晶炉
28硅单晶炉生长晶体实时称重装置
29一种单晶炉
30双滑道单晶炉测径仪
31单晶炉测径仪底座
32一种直拉单晶炉用坩埚驱动装置
33单晶炉炉体结构
34单晶炉防爆真空管接
35一种用于直拉单晶炉热场的电极机构
36双顶丝单晶炉测径仪底座
37单晶炉观察窗防护镜
38设有掺杂器的直拉硅单晶炉
39一种单晶炉冷却供水装置
40直拉式单晶炉中晶体与熔硅液面熔接状态自动检测装置
41一种单晶炉热场装置
42一种防止单晶炉保护气体管路泄漏的供气装置
43一种单晶炉加热器底盘
44一种硅单晶炉连续投料装置及设有该装置的硅单晶炉
45直拉单晶炉用石墨坩埚
46一种测量直拉单晶炉电极电位差的装置
47太阳能硅单晶炉热场的导流筒
48单晶炉取棒车
49单晶炉真空系统过滤器
50单晶炉防烧毁石墨件装置
51单晶炉热场投料装置
52单晶炉埚转升降轴
53单晶炉零压报警装置
54单晶炉单入口式水冷炉盖
55单晶炉上传动水平调整装置
56单晶炉晶升软轴固定装置
57单晶炉扶绳机构
58单晶炉晶升限位装置
59单晶炉掺杂料斗
60单晶炉温度控制单元
61单晶炉DAC信号给定板
62单晶炉ADC信号测量板
63单晶炉翻板箱的冷却结构
64单晶炉副炉
65单晶炉盖的过滤结构
66单晶炉的下炉体结构
67单晶炉的下炉体
68单晶炉盖的冷却结构
69单晶炉上炉体的冷却结构
70防腐蚀单晶炉上炉体
71防腐蚀单晶炉翻板箱
72一种硅单晶炉晶棒托架
73直拉单晶炉
74一种用于生长300mm以上大尺寸蓝宝石的单晶炉炉体
75一种直拉单晶炉热场用石墨电极
76一种CZ直拉法单晶炉
77一种CZ直拉法单晶炉石墨热场结构
78单晶炉装置
79单晶炉副炉结构
80一种用于单晶炉的原料输送装置
81一种单晶炉传动部件
82一种单晶炉冷却系统
83一种抑制软轴提拉型单晶炉软轴摆动的阻尼器
84Z80单晶炉石墨系统
85改进的直拉单晶炉加热器结构
86单晶炉用热屏
87用于单晶炉的二次加料圆棒夹具
88用于单晶炉的籽晶夹持器
89用于直拉硅单晶炉热场系统
90一种单晶炉
91一种单晶炉限位装置
92单晶炉副室清洁杆
93一种用于直拉硅单晶炉的尾气自净化过滤装置
94单晶炉用石墨坩埚
95一种单晶炉的石墨热场
96一种筒式单晶炉的石墨热场
 


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Tags: 单晶炉  
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